Tema 1 Tecnología de Fabricación de CI .
1.1 Introducción. Obtención de obleas para circuitos integrados. 1.1.1 Purificación del substrato 1.1.2 Crecimiento en volumen 1.1.3 Cortado, limpiado ypulido 1.2 Tecnología planar de silicio: Procesos básicos para la fabricación de circuitos digitales. 1.2.1 Proceso de Oxidación térmica. 1.2.2 Proceso de litografía y grabado 1.2.3 Impurificación(adición de dopantes) 1.2.4 Formación de capas delgadas (Deposiciones y Epitaxia) 1.3 Secuencia de fabricación de un CMOS pozo n 1.4 Escalas de integración: LSI, VLSI, ULSI.

1.1

Introducción. Obtenciónde obleas para circuitos integrados. (Unidad de aprendizaje 1)

En este tema estudiaremos como se hace un Circuito Integrado (C.I). La tecnología usada en la fabricación de un Chip se llamatecnología planar esta permite una gran productividad. Veremos los principales procesos de la tecnología planar y como esta se aplica para la construcción de un circuito CMOS, circuito fundamental de laelectrónica digital.

Figura 1.1.1: Chips fabricados en una oblea de silicio Fuente: http://sharif.edu/~hessabi/Adv_VLSI/ slides/PROBETES.HTM

El primer paso de la producción de un C.I. es laobtención de una oblea de material semiconductor con estructura cristalina. Los semiconductores más importantes para la fabricación tanto de dispositivos discretos como de circuitos integrados son, condiferencia, el Silicio (Si) y el Arseniuro de Galio (GaAs). Los procesos que se siguen para conseguir una oblea semiconductora a partir de la materia prima son los siguientes: 1) Purificación del substratomediante tratamiento químico 2) Crecimiento en volumen del cristal 3) Corte, limpiado y pulido de obleas.

Figura 1.1.2: Pasos para fabricación de una oblea

la

Nos centraremos en explicar elproceso de fabricación de una oblea de Si.

1.1.1

Purificación del substrato (obtención de Si puro) (UA 2)

Se parte de la cuarcita (SiO2) forma relativamente pura de arena. Esta se coloca... [continua]

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(2010, 08). Tecnologías de fabricación de circuitos integrados. BuenasTareas.com. Recuperado 08, 2010, de http://www.buenastareas.com/ensayos/Tecnolog%C3%ADas-De-Fabricaci%C3%B3n-De-Circuitos-Integrados/590434.html

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