Detectores De Electrones Secundarios Y Electrones Retro-Dispersados

Instituto Politécnico Nacional
Centro de Investigación en Ciencia Aplicada y Tecnología Avanzada, Unidad Altamira.

Detector de electrones secundarios y retro-dispersados.
R. E. Jones EstradaEl detector Everhart-Thornley (E-T detector) es un detector de electrones
secundarios usado en los Microscopios Electrónicos de Barridos (SEM). Este
detector recibe el nombre de sus diseñadores,Thomas E. Everhart y Richard
F. M. Thornley que en 1960 publicaron el diseño de este detector para
maximizar la detección de los electrones secundarios añadiendo fibra óptica
para guiar la señal delos fotones desde el centellador que se encuentra dentro
de la cámara de vacío del SEM hacia la fotomultiplicadora que se encuentra
fuera del mismo. Añadiendo esta modificación se mejoro el diseño deldetector
de electrones secundarios que diseñaron Vladimir Zworyking y J. A. Rajchman
cambiando el amplificador de electrones por una fotomultiplicadora.
Actualmente el detector E-T con todo y susistema de guía de los fotones es el
más usado en los SEM.
El detector consiste principalmente en un centellador dentro de la jaula de
Faraday que se encuentra dentro de la cámara de vacio del SEM.Un bajo
voltaje positivo es aplicado a la jaula para atraer a los electrones secundarios
de baja energía (menos de 50eVs). Los electrones que no son atraídos por
este voltaje serán detectados. Elcentellador tiene aplicado un alto voltaje
positivo (10,000eVs) con el fin de acelerar los electrones atraídos y serán
convertidos en fotones. Los electrones convertidos en fotones son guiados porla fibra óptica fuera de la cámara del microscopio para pasar por una
fotomultiplicadora y así amplificar la señal. (Fig. 1)

Fig. 1. Esquema del funcionamiento de un detector E-T.

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Los electrones retrodispersados (BSE) son electrones de alto energía, estos
electrones son...