Detectores Del SEM



















Natalia Aguirre Sosa
Matricula: 14310159
NTM31
Tipos de detectores utilizados en el microscopio electrónico de barrido (SEM)
M.I. Karla Vega
16/agosto/15




Microscopioelectrónico de barrido (SEM)
Es un instrumento capaz de ofrecer un variado rango de informaciones procedentes de la superficie de la muestra. Su funcionamiento se basa en barrer un haz de electrones sobre unárea del tamaño que deseemos (aumentos) mientras en un monitor se visualiza la información que hayamos seleccionado en función de los detectores que hayan disponibles.
Los detectores son:
Detector deelectrones secundarios (SE).
Detector de electrones retrodispersados (BSE).
Detector de rayos X (EDS).
Detector de rayos X (WSD).
Detector de electrones retrodispersados difractados (BSED).Catodoluminiscencia.
Detector de electrones de Auger.
Detector de electrones secundarios (SE).
Ofrece la imagen en blanco y negro de la topografía de la superficie examinada.
Emerge de la superficie de la muestracon una energía inferior a 50 eV.
Tiene un rango de 10 a 20000 aumentos.
Durante el viaje hacia el exterior la muestra pierde energía por diferentes interacciones, de forma que solo los que están muypróximos a la superficie tiene alguna probabilidad de escapar del material y llegar a nuestro detector.




Detector de electrones retrodispersados (BSE).
Es sensible a las variaciones en el númeroatómico de los elementos presentes en la superficie.
Su energía es mayor de 50 eV.
Ofrece una imagen de zona con distinto Z.
A mayor numero atómico, mayor intensidad.
Permite distinguir fases de unmaterial de diferente composición química.
Emergen de zonas más profundas.

Detector de rayos X (EDS).
Es el que recibe los rayos X procedentes de cada uno de los puntos de la superficie sobre los que pasael haz de electrones. Como la energía de cada rayo X es característica de cada elemento, se puede obtener información analítica cualitativa y cuantitativa de áreas del tamaño que deseemos de la...