Fisica

UNIVERSIDAD NACIONAL DE PIURA
FACULTAD DE CIENCIAS
ESCUELA PROFESIONAL DE FISICA

PROYECTO DE TESIS

“OBTENCION DE PELICULAS DELGADAS DE ÓXIDO DE TITANIO (TiO2) Y SUS APLICACIONES EN LA FABRICACIÓN DE INTERFEROMETROS FABRY PEROT.”

EJECUTOR : Br. Giovanna Milagros Huamán Yanayaco
Universidad Nacional de Piura.ASESOR : Lic. Wilfredo Morales Castro
Universidad Nacional de Piura

CO-ASESOR : Dr. Arturo Talledo Coronado
Universidad Nacional de Ingeniería, Lima.

PIURA – PERÚ

ÍNDICE GENERAL

INTRODUCCIÓN

CAPITULO I:ASPECTOS GENERALES

1.1- INTRODUCCIÓN:

1.1.1.- Experimento de Young.

1.1.2.- Ecuaciones de Maxwell.

1.2.- FILTROS FABRY PEROT:

1.2.1.- Análisis Cuantitativo.

1.3.- TÉCNICA PARA LA PRODUCCIÓN DE PELÍCULAS DELGADAS:
1.3.1.- Sputtering:
1.3.1.1.- Los principios básicos de la técnica del sputtering.1.3.1.2.- Procesos de sputtering:
1. - DC sputtering.
2. - RF sputtering.
3. - Magnetron sputtering:
3.1.- Electrón en movimiento en campos eléctrico y magnético en paralelo.
3.2.-Campos eléctricos y magnéticos perpendiculares.
4.- Reactive sputtering.
1.3.1.3.- Interacciones ión superficie.
1.3.1.4.- Rendimiento de sputtering.

1.4.- ÓXIDO DE TITANIO (TiO2).


CAPÍTULO II: PARTE EXPERIMENTAL

2.1.- PROCESOS DE DEPOSICIÓN DE PELÍCULAS DELGADAS:2.1.1.- Producción de muestras:
2.1.1.1.- Inicio del proceso.
2.1.1.2.- Deposición.
2.1.1.3.- Proceso de enfriamiento.

2.2.- PRODUCCIÓN DE FILTROS FABRY PEROT POR RF Magnetron SPUTTERING.

2.3.- ESPECTROS DE TRANSMITANCIA.

2.4.- DIFRACCIÓN DE RAYOS X.
CAPÍTULO III: RESULTADOS EXPERIMENTALES

3.1.- RECUBRIMIENTOS PRODUCIDOS.3.2.- ANÁLISIS ESTRUCTURALES.
3.3.- ANÁLISIS DE PROPIEDADES ÓPTICAS.
CAPÍTULO IV: CONCLUSIONES Y RECOMENDACIONES

ANEXO
BIBLIOGRAFÍA

APÉNDICE

PRÓLOGO
Los motivos para estudiar Física generalmente son dos: i) la belleza tanto de los fenómenos naturales como de las teorías que los explican y ii) la enorme potencia de la física para producir desarrollo tecnológico y por lo tantodesarrollo económico. En esta tesis se combinan ambas motivaciones.
Tratamos de construir dispositivos ópticos sobre los cuales incide luz blanca, policromática, y transmiten sólo luz monocromática, de un color que el fabricante puede elegir.
Para construir este tipo de dispositivos he tenido, felizmente, la necesidad de familiarizarme con la tecnología de alto vacío y con las técnicas de producirmateriales en forma de películas delgadas.
El fundamento teórico de este trabajo es la teoría ondulatoria de la luz, en particular la interferencia múltiple en películas delgadas. Teoría que ha sido desarrollada en los siglos XIX y XX, y es muy conocida. No es propósito de esta tesis, entonces, producir nuevos conocimientos de Física, sino, mostrar que es posible aplicar conocimientos sencillos deFísica para impulsar el desarrollo tecnológico y por lo tanto el desarrollo económico de nuestro país.

Agradezco al Dr. Arturo Talledo Coronado por haberme dado la oportunidad de desarrollar este trabajo en el laboratorio de sputtering de la facultad de ciencias de la Universidad Nacional de Ingeniería, a su cargo.
Agradezco también a los miembros de la Facultad de Ciencias que me han...