fotolitografia

Páginas: 2 (354 palabras) Publicado: 29 de septiembre de 2014
Fotolitografía, Procedimiento básico, Sistemas de exposición, Photomasks, Resolución de sistemas de proyección, Las fuentes de luz, Métodos experimentales

Fotolitografía, la litografía ópticatambién llamado o la litografía UV, es un proceso utilizado en la microfabricación de piezas de patrón de una película delgada o la mayor parte de un sustrato. Se utiliza la luz para transferir un patróngeométrico de una fotomáscara a una sustancia química sensible a la luz "fotosensible", o simplemente "resistir", en el sustrato. Una serie de tratamientos químicos a continuación, ya sea graba elpatrón de exposición en, o permite la deposición de un nuevo material en el patrón deseado sobre, el material debajo de la foto resistente. Por ejemplo, en los circuitos integrados complejos, un modernooblea CMOS pasará por el ciclo de fotolitografía hasta 50 veces.
Comparte Fotolitografia algunos principios fundamentales con la fotografía en que el patrón de la aguafuerte resistir se crea mediantesu exposición a la luz, ya sea directamente o con una imagen utilizando una máscara óptica. Este procedimiento es comparable a una versión de alta precisión del método utilizado para hacer placas decircuito impreso. Etapas posteriores en el proceso tienen más en común con el grabado que con la impresión litográfica. Se utiliza, ya que puede crear patrones extremadamente pequeñas, que permite uncontrol exacto sobre la forma y el tamaño de los objetos que crea, y porque puede crear patrones sobre una superficie completa de manera rentable. Sus principales desventajas son que requiere unsustrato plano, para empezar, no es muy eficaz en la creación de formas que no son planas, y puede requerir condiciones de funcionamiento extremadamente limpias.
Procedimiento básico

Una sola iteraciónde la fotolitografía combina varios pasos en secuencia. Salas blancas modernos utilizan sistemas de vía de obleas automatizados, robots para coordinar el proceso. El procedimiento descrito aquí...
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