hkhk

Las nuevas tecnologías de Sistemas
Microelectromecánicos (MEMS)
en la vida diaria
Dra. Susana Ortega Cisneros
Profesora Investigadora
CINVESTAV, Unidad
Guadalajara

1

MEMS
 Los SistemasMicroelectromecánicos (Micro-ElectroMechanical-Systems) MEMS son la integración de
elementos mecánicos, sensores, actuadores, y la propia
electrónica en un substrato de silicio a través detecnología de micro-fabricación.

2

MEMS
 Los MEMS representan una amplia clase de dispositivos
que pueden ser construidos a través de diferentes
procesos tecnológicos, en diversos materiales ypueden
aplicarse en distintas áreas de la ciencia.

3

Tamaño de un MEMS

PELO
(~0.1mm)

CELULA
(~10µm)

VIRUS
(~10nm)
ADN
(~1nm)

OBLEAS
(10cm)

CHIP
(~1cm)

MEMS(1µm – 1mm)
4Principales ventajas de MEMS
Las principales ventajas de los microsistemas son:
• Procesos de fabricación en lotes para grandes volúmenes de
componentes a bajo coste.

Principales ventajasde MEMS
Las principales ventajas de los microsistemas son:
• Producir dispositivos mecánicos más pequeños, livianos, en
versiones más rápidas, con mayor precisión, consumos de energía
reducidos,biocompatibles.
• Producir sensores, aprovechando las propiedades electro–
mecánicas del Si, donde las características eléctricas cambian en
respuesta a cambios de parámetros particulares externoscomo:
temperatura, presión, aceleración, humedad y radiación.

Aplicaciones MEMS
Sensor inercial: acelerómetros.
Ink-jet para impresoras.
Giroscopios.
Micro fluidos.
Micrófonos (micro cámara,laptop,
celulares)
Sistemas de radio frecuencia.
Sensor de presión.
Microdisplays.
Analizadores de sangre
7

Impacto de MEMS en tecnología
La producción de los productos basados en tecnologíaMEMS tuvieron
un valor de 8 billones de dólares en el 2005 ( 40 % eran sensores)  …y
va en incremento.

Existen dispositivos de aplicación actual y algunos que aguardan el
desarrollo de...