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CRESSINGTON 108
OPERATING MANUAL

1.1 CARACTERÍSTICAS DE FUNCIONAMIENTO
El Cressington 108 Sputter se desined principalmente para la realización de pulverización capas de oro en muestras paraevitar los efectos de carga en el microscopio electrónico de barrido. Utiliza una pulverización catódica magnetrón planar configuración de destino para dar eficacia alta velocidad de pulverizacióncatódica con calefacción mínima muestra.
está diseñado como un sistema de vacío integrado con su sistema de bombeo Descktop emparejado a la unidad de recubrimiento para un rendimiento óptimo. La calidad delos recubrimientos producidos por el sistema se basa en las características de manejo de gas en el rango de 0,01 a 0,1 mb . El sistema de bombeo Ofthe alta velocidad en este rango de presión de formanatural como resultado un rendimiento rápido bombeo de la atmósfera y los tiempos de ciclo cortos.
En el pasado, por pulverización catódica coters para Sem tienen válvula de control de presión degas para ajustar la corriente de pulverización catódica. El Cressington 108 no funciona de esta manera: las funciones de control actuales de control de gas y han sido separated.This permite al usuarioajustar de forma independiente de trabajo (mb) y la corriente catódica (mA) para obtener la mejor muestra de la conformidad y tamaño.La mínimo grano muestra de altura ajustable tabe permite una mayoroptimización del recubrimiento (véase la sección 5.2 muestra recubrimiento difícil).
The cressington 108 sputter coaters can be factory fitted (or retro-fitted) with the optional MTM-10 thicknessmonitor system.
1.2 SERVICIOS REQUERIDOS
El 108 Sputter requiere una sola fase AC de alimentación eléctrica de una toma de corriente estándar de laboratorio. Está disponible en las versiones 100/120V y200/240V.
La etiqueta del número de serie en el panel posterior de la unidad de control está marcado con el requisito de la tensión de alimentación.
El aparato de recubrimiento requiere un...