Microfabricacion

Microfabricación es el proceso de fabricación de estructuras en miniatura de escalas micrómetros y más pequeñas. Históricamente, se han utilizado los procesos de microfabricación más tempranos para la fabricación del circuito integrado, también conocido como "fabricación de semiconductores" o "dispositivo de fabricación de semiconductores". En las últimas dos décadas los sistemasmicroelectromecánicos, microsistemas, micromáquinas y sus subcampos, microfluidos/laboratorio en un chip, MEMS óptico, RF MEMS, PowerMEMS, BioMEMS y su extensión a nanoescala han reutilizado, adaptar o completar los métodos de microfabricación. Las pantallas planas y células solares también están utilizando técnicas similares.
La miniaturización de los diversos dispositivos presenta retos en muchas áreas de laciencia y la ingeniería: la física, la química, la ciencia de los materiales, ciencias de la computación, ingeniería de ultra-precisión, procesos de fabricación y diseño de equipos. También da lugar a diversos tipos de investigación interdisciplinaria. Los principales conceptos y principios de microfabricación son microlitografía, dopaje, películas delgadas, grabado, pegado y pulido.
Los campos deuso
Microfabricated dispositivos incluyen:
La fabricación de circuitos integrados
Sistemas microelectromecánicos, MOEMS,
dispositivos de microfluidos
células solares
Pantallas planas
Sensores
PowerMEMSs, pilas de combustible, cosechadoras/captadores de energía
Orígenes
Tecnologías de microfabricación se originan a partir de la industria de la microelectrónica, y los dispositivos sehacen generalmente en obleas de silicio a pesar de vidrio, plásticos y muchos otros sustratos están en uso. Micromaquinado, procesamiento de semiconductores, microelectrónica fabricación, fabricación de semiconductores, MEMS fabricación y tecnología de circuitos integrados son términos que se utilizan en lugar de microfabricación, pero microfabricación es el término amplio general.
Técnicas demecanizado tradicionales, como el mecanizado por descarga eléctrica, chispas mecanizado erosión y perforación láser se han reducido desde el rango de tamaño milímetro a rango micrométrico, pero no comparten la idea principal de microfabricación microelectrónica originado: la replicación y la fabricación paralela de cientos o millones de estructuras idénticas. Este paralelismo está presente en diversoshuella, de fundición y moldeo técnicas que se han aplicado con éxito en la microregime. Por ejemplo, el moldeo por inyección de DVD implica la fabricación de puntos de tamaño submicrométrico en el disco.
Procesos de microfabricación
Microfabricación es en realidad una colección de tecnologías que se utilizan en la fabricación de microdispositivos. Algunos de ellos tienen orígenes muy antiguos,que no están conectados a la fabricación, como la litografía o grabado. Pulido fue tomado de fabricación óptica, y muchas de las técnicas de vacío viene de investigación de la física del siglo 19. Electrochapado es también una técnica siglo 19a adaptado para producir estructuras de escala micrómetros, como son diversas técnicas de estampado y gofrado.
Para fabricar un microdispositivo, se debenrealizar muchos procesos, uno tras otro, muchas veces repetida. Estos procesos incluyen típicamente depositando una película, patrón de la película con las características micro deseados, y la eliminación de porciones de la película. Por ejemplo, en la fabricación de chips de memoria, hay algunos pasos 30 litografía, 10 pasos de oxidación, 20 pasos de grabado, 10 pasos de dopaje, y muchos otros sellevan a cabo. La complejidad de los procesos de microfabricación se puede describir por su recuento de máscara. Este es el número de diferentes capas de patrones que constituyen el dispositivo final. Los microprocesadores modernos se hacen con 30 máscaras mientras que unos pocos máscaras son suficientes para un dispositivo de microfluidos o un diodo láser. Microfabricación se asemeja a la...