Micromecanizado

TECNOLOGÍA DE FABRICACIÓN Y MÁQUINAS
- MICROMECANIZADO -

TECNOLOGÍA DE FABRICACIÓN Y MÁQUINAS

ÍÍNDIICE ND CE
ÍNDICE ...................................................................................................................................... 2 1 2 3 INTRODUCCIÓN A LA MICROTECNOLOGÍA ...................................................................... 4 PRESPECTIVAHISTÓRICA................................................................................................. 5 TERMINOLOGÍA .............................................................................................................. 8 3.1 3.2 4 TECNOLOGÍAS DE LOS MICROSISTEMAS/ SISTEMAS MICROELECTRO-MECÁNICOS(MST/MEMS). 8 TECNOLOGÍAS DE MICROFABRICACIÓN (MET).................................................................... 8

INVESTIGACIÓN EN MICROFABRICACIÓN: POLÍTICAS INTERNACIONACIONALES ........... 10 4.1 4.2 4.3 POLÍTICA DE INVESTIGACIÓN EN JAPÓN............................................................................. 11 POLÍTICA DE INVESTIGACIÓN EN ESTADOS UNIDOS ............................................................. 12 POLÍTICA DE INVESTIGACIÓN EN EUROPA.......................................................................... 12

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EXPECTATIVAS DE MERCADO ........................................................................................ 14 APLICACIONES DE MICROFABRICACIÓN: SITUACIÓN ACTUAL Y TENDENCIAS .............. 19 6.1 6.2 6.3 6.4 AUTOMOCIÓN Y TRANSPORTE ........................................................................................ 20TECNOLOGÍAS DE INFORMACIÓN Y TELECOMUNICACIONES ................................................... 21 SALUD Y BIOTECNOLOGÍAS ............................................................................................. 22 INSTRUMENTACIÓN Y SENSORES...................................................................................... 24

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CLASIFICACIÓN DE LAS MICROTECNOLOGÍAS................................................................ 25 DESCRIPCIÓN DE LAS MICROTECNOLOGÍAS .................................................................. 29 8.1 8.1.1 8.1.2 8.1.3 8.2 8.2.1 8.2.2 8.2.3 8.2.4 8.2.5 PROCESOS MEMS .................................................................................................... 29 Micromecanizado en volumen............................................................................. 30 Micromecanizado superficial................................................................................ 30 LIGA & Micromoldeo ............................................................................................ 31 PROCESOS ASISTIDOS ENERGÉTICAMENTE............................................................. 32 Mecanizado por haz de láser (LBM)..................................................................... 32 Mecanizado por Microelectroerosión (MEDM) .................................................... 34 Mecanizado por haz de Electrones (EBM) ............................................................ 34 Mecanizado por haz de iones focalizados (FIB) .................................................... 35 Mecanizado por haz de plasma(PBM) ................................................................. 35

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8.3 8.3.1 8.3.2 8.3.3 8.4 8.4.1 8.4.2 8.4.3 8.4.4 8.5 9

PROCESOS MECÁNICOS .......................................................................................... 36 Procesos decorte.................................................................................................. 36 Microrrectificado .................................................................................................. 38 Ultrasonic Machining (USM) ................................................................................ 38 TÉCNICAS DE REPLICADO ........................................................................................ 39...