Nitruro de silicio

Nitruro de silicio (Silicio3N4) es una sustancia dura, sólida, que se puede obtener por la reacción directa en medio silicio y nitrógeno en las temperaturas altas. El nitruro de silicio es elcomponente principal en nitruro de silicio cerámica, que tienen relativamente bueno choque la resistencia comparó a la otra cerámica.
Los rodillos hechos del nitruro de silicio de cerámica se utilizan aveces en patín high-end cojinetes, debido al choque y a las características a prueba de calor del material. También se utiliza como fuente de ignición para las aplicaciones domésticas del gas, igniciónsuperficial caliente.
En microelectrónica, el nitruro de silicio es generalmente el usar formado deposición de vapor químico Método (CVD), o una de sus variantes, por ejemplo deposición de vaporquímico plasma-realzada (PECVD). Generalmente se utiliza cualquiera comoaislador capa para aislar eléctricamente diversas estructuras o como grabado de pistasmáscara adentro el micromachining a granel. Comocapa de la pasivación para los microchipes, es superior a dióxido del silicio, como él está un perceptiblemente mejorbarrera de difusión contra las moléculas de agua y sodio iones, dos fuentesimportantes de la corrosión e inestabilidad en microelectrónica. También se utiliza como a dieléctrico entre polysilicon capas adentro condensadores en virutas análogas.
El bulto, nitruro de siliciomonolítico se utiliza como material para herramientas de corte, debido a su dureza, estabilidad termal, y resistencia a desgaste. Se recomienda especialmente para la velocidad el trabajar a máquina de hierrofundido. Para trabajar a máquina de acero, está cubierto generalmente cerca nitruro titanium (generalmente cerca CVD) para la resistencia química creciente.
Estructura cristalina
Existen3 cristalográfico estructuras del nitruro de silicio (silicio3N4), señalado como fases del α, del β y del γ. El α y el β fases son las formas mas comunes de silicio3N4, y puede ser producido bajo condición...