Sistemas

Sistemas-Micro-Electro-Mecánicos o MEMS, son una tecnología que combina los ordenadores con dispositivos mecánicos diminutos tales como sensores, válvulas, engranajes, espejos, actuadores y lamicroelectrónica, los elementos más notables son los microsensores y microactuadores, integrados en chips semiconductores. En su forma más general puede ser definida como elementos mecánicos yelectro-mecánicos miniaturizados que se realizan con técnicas de micro-fabricación.
Contiene micro-circuitos en un chip de silicio pequeño en la que algún dispositivo mecánico tal como un espejo o un sensor hayasido fabricado.
Las dimensiones físicas críticas de los dispositivos MEMS pueden variar desde muy por debajo de una micra en el extremo inferior del espectro de dimensiones, hasta varios milímetros.Asimismo, los tipos de dispositivos de MEMS pueden variar de estructuras relativamente simples que no tienen elementos móviles, a los sistemas electromecánicos extremadamente complejos con múltipleselementos móviles bajo el control de la microelectrónica integrada.
No sólo es el rendimiento de los dispositivos MEMS lo que los hace excepcionales, sino también su método de producción, el cualaprovecha las técnicas de fabricación por lotes, mismas utilizados en la industria de circuitos integrados, lo que se traduce en un costo de producción por cada dispositivos más bajo, así como muchos otrosbeneficios.
Proceso de fabricación
Los procesos de fabricación relacionados con los MEMS y los sectores de la microelectrónica se basan en tecnologías planas o 2D, claro que con las nuevas técnicas sepuede hacer una repetitividad en 3d. Esto conlleva que se produzcan componentes o productos dentro o sobre obleas planas.
Los componentes MEMS parten de una oblea preparada normalmente de silicio,limpia y oxidada. Una vez preparada, las obleas se procesan generando estructuras en capas diferentes. Esta estructuración consiste en proyectar mediante técnicas fotográficas la estructura deseada...