tarea chida
Páginas: 4 (820 palabras)
Publicado: 14 de octubre de 2014
INVESTIGACIO 'N REVISTA MEXICANA DE FI'SICA 55 ( 1 ) 14-24 FEBRERO 2009
Análisis electromecánico de un microsensor de presión piezoresistivo para
aplicaciones biomédicas de baja presión
A. L.Herrera- Maya , d , B.S. Soto- Cruzb , F. L' OPEZ - Huertac , y LA Aguilera Cort'esd
ACENTRO de Investigaci'on en Micro y Nanotecnolog'ıa , Universidad Veracruzana ,
Boca del R'ıo , Ver. , M'exico .bCentro De Investigaci'on baño Dispositivos Semiconductores , Benem'erita Universidad Aut'onoma de Puebla ,
Puebla , Pue . , M'exico .
cFacultad de Ciencias F'ısico Matem'aticas , Benem'eritaUniversidad Aut'onoma de Puebla ,
Puebla , Pue . , M'exico .
dDepartamento Ingenier'ıa Mec'anica , Campus Irapuato- Salamanca, Universidad de Guanajuato ,
Salamanca , Gto. M'exico .
Recibido el 9 de juniode 2008 ; Aceptado el 12 de enero de 2009
El análisis electromecánico de un microsensor de presión piezoresistivo con un diafragma de sección cuadrada para aplicaciones biomédicas de baja presiónse presenta . Este análisis se desarrolla a través de un nuevo modelo de polinomios y un modelo de elementos finitos (FEM ) . un microsensor
con un $ ¹ $ m de longitud diafragma 1000 y con tresespesores diferentes ( 10 , 15 , y 20 $ ¹ $ m) se estudia . La respuesta eléctrica de esta microsensor
se obtiene con un puente de Wheatstone de cuatro piezoresistores de tipo p localizados en lasuperficie del diafragma . El diafragma que es de 10 ¹ m de espesor
exhibe una deflexión máxima de 3,74 $ ¹ $ m utilizando el modelo polinomial , que tiene una diferencia relativa de 5,14 y 0,92 % conrespecto a la
Modelo de Timoshenko y el modelo FEM , respectivamente. La sensibilidad máxima y tensión normal calculado utilizando el modelo polinomial son
1,64 mV / V / kPa y 102,1 MPa , respectivamente .Los resultados del modelo polinomial concuerdan bien con el modelo de Timoshenko y modelo FEM
para pequeñas deflexiones . Además , el modelo polinomial se puede utilizar fácilmente para predecir...
Análisis electromecánico de un microsensor de presión piezoresistivo para
aplicaciones biomédicas de baja presión
A. L.Herrera- Maya , d , B.S. Soto- Cruzb , F. L' OPEZ - Huertac , y LA Aguilera Cort'esd
ACENTRO de Investigaci'on en Micro y Nanotecnolog'ıa , Universidad Veracruzana ,
Boca del R'ıo , Ver. , M'exico .bCentro De Investigaci'on baño Dispositivos Semiconductores , Benem'erita Universidad Aut'onoma de Puebla ,
Puebla , Pue . , M'exico .
cFacultad de Ciencias F'ısico Matem'aticas , Benem'eritaUniversidad Aut'onoma de Puebla ,
Puebla , Pue . , M'exico .
dDepartamento Ingenier'ıa Mec'anica , Campus Irapuato- Salamanca, Universidad de Guanajuato ,
Salamanca , Gto. M'exico .
Recibido el 9 de juniode 2008 ; Aceptado el 12 de enero de 2009
El análisis electromecánico de un microsensor de presión piezoresistivo con un diafragma de sección cuadrada para aplicaciones biomédicas de baja presiónse presenta . Este análisis se desarrolla a través de un nuevo modelo de polinomios y un modelo de elementos finitos (FEM ) . un microsensor
con un $ ¹ $ m de longitud diafragma 1000 y con tresespesores diferentes ( 10 , 15 , y 20 $ ¹ $ m) se estudia . La respuesta eléctrica de esta microsensor
se obtiene con un puente de Wheatstone de cuatro piezoresistores de tipo p localizados en lasuperficie del diafragma . El diafragma que es de 10 ¹ m de espesor
exhibe una deflexión máxima de 3,74 $ ¹ $ m utilizando el modelo polinomial , que tiene una diferencia relativa de 5,14 y 0,92 % conrespecto a la
Modelo de Timoshenko y el modelo FEM , respectivamente. La sensibilidad máxima y tensión normal calculado utilizando el modelo polinomial son
1,64 mV / V / kPa y 102,1 MPa , respectivamente .Los resultados del modelo polinomial concuerdan bien con el modelo de Timoshenko y modelo FEM
para pequeñas deflexiones . Además , el modelo polinomial se puede utilizar fácilmente para predecir...
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