TEC Microscopia Electronica de Barrido

Instituto de Ciencia
de Materiales de Madrid
Laboratorio de microscopía
FE-SEM

Principios generales de la Microscopía Electrónica de Barrido
(Scanning Electron Microscope, SEM)

El microscopioelectrónico de barrido, conocido por sus siglas inglesas SEM, utiliza
electrones en lugar de luz para formar una imagen. Para lograrlo, el equipo cuenta
con un dispositivo (filamento) que genera un haz deelectrones para iluminar la
muestra y con diferentes detectores se recogen después los electrones generados
de la interacción con la superficie de la misma para crear una imagen que refleja
lascaracterísticas superficiales de la misma, pudiendo proporcionar información
de las formas, texturas y composición química de sus constituyentes.

Escala de tamaños capaces de ser visualizados
condiferentes tipos de microscopios
microscopio electrónico
visión humana

microscopio electrónico de barrido

mol éculas
peque ñas

átomos

microscopio óptico
virus

glóbulos
rojos

proteínas/enzimas

bacteriaspelo
humano

Interacción de electrones de alta
energía con muestras sólidas
electrones
secundarios (SEM)

electrones Auger (AES)
0.5 ...5 nm

electrones
retrodispersados (SEM)

rayos X y
emisiónBremsstrahlung

0.5 ~ 4 m

El Microscopio SEM con cañón de emisión de campo (FESEM)
Los nuevos microscopios SEM trabajan utilizando como fuente de
electrones un cañón de emisión de campo (Field EmissionGun,
FEG) que proporcionan haces de electrones de alta y baja energía
más focalizados, lo que permite mejorar la resolución espacial,
minimizar cargas sobre el espécimen a observar, causando ademásmenos daños en muestras sensibles.

Sistema de lentes de un
microscopio FE-SEM

Nuestro equipo FE-SEM FEI Nova
NANOSEM 230 y sus ventajas

cañón de emisión de campo
(Field Emission Gun, FEG)
filamentofilamento

Este equipo utiliza un
emisor de electrones de
tipo Schottky que
optimiza la producción de
electrones secundarios y
el análisis químico EDX

supresor

CAÑÓN DE
ELECTRONES

puerto de...