tecnico

Curso de Vacío

1

2

Índice
El vacío
Definición
Unidades de medida

Aplicaciones
Conceptos básicos
Definiciones y fórmulas
Componentes básicos de un sistema de vacío
Piezas de uniónVálvulas
Filtros, etc

Bombas de vacío
Bombas de membrana
Bombas rotativas

3

Bombas de Pistón
Bombas Scroll
Bombas Roots
Bombas difusoras
Bombas Turbomolecular-Drag
Bombas desublimación de titanio
Bombas iónicas
Bombas criogénicas

Medidores de vacío
Medidores tipo Bourdon
Medidores capacitivos
Sensores tipo Pirani
Sensores de cátodo frío
Sensores de cátodo caliente4

Detección de fugas
Métodos de localización de fugas
Detectores de fugas de Helio
Detector de fugas HLT 260
Elección de un detector de fugas
Métodos de detección. Casos prácticosEspectrometría de masas Cuadrupolar
Ionización
Separación
Detección
Tipo de espectros
Definición de términos

5

Procedimientos para verificar fugas
Volúmenes pequeños sin detector de fugas deHelio
Volúmenes grandes en sistemas de alto/ultra alto vacío
Espectrómetro de masas Cuadrupolar

Materiales y tratamientos de superficies
Materiales usados en cámaras de vacío

6

EjerciciosSistemas de evaporación

El vacío

7

8

Definición
Se define el vacío como un espacio o volumen en el que la
presión es menor que la presión atmosférica.
Rangos de vacío
Rango de vacíoPresión (mbar)

Densidad de moléculas/cm3

Vacío grueso

1013 - 1

1019 - 1016

Vacío medio

1 - 10-3

1016 - 1013

Alto vacío

10-3 - 10-7

1013 - 109

Ultra alto vacío

<10-7

< 109

9

Unidades de medida del vacío
Pa-N/m2

bar

mbar

Torr
mm Hg

Micron
μm.Torr

atm

Psi
lbf/inch2

Pa

1

1.10-5

1.10-2

7.5 10-3

7.5

9.87 1061.45 10-4

bar

1 10-5

1

1 103

750

7.5 105

0.987

14.5

mbar

100

1 10-3

1

0.75

750

9.87 10-4 1.45 10-2

Torr

1.33 102

1.33 10-3

1.33

1

1000...