Trad
1. Introducción la demanda de dispositivos de cristal ha aumentado recientemente en el desarrollomaterial, el diagnóstico médico y el análisis ambiental. Los dispositivos de cristal suelen fabricarse con aguafuerte Fotolitografía. En grabado mojado de vidrio, ácido fluorhídrico se utiliza parala reacción química. En aras de la seguridad en la operación y el control de la velocidad de mecanizado, se diluye el líquido químico y la tasa de producción es baja. Un costo adicional para laeliminación de residuos tiene que ser considerada por el impacto ambiental. Grabado seco con plasma también se aplica a fabricación micro en las superficies de vidrio.
2. Aunque el tamaño de mecanizadoen el grabado seco es mucho menor a la de otros procesos, el proceso se realiza por un largo tiempo en instalaciones costosas. Por lo tanto, procesos alternativos que han sido necesarias para mejorarel coste de producción y medio ambiente.
3. Este estudio aplica chorro de agua abrasivo para mecanizado y pulido de vidrio. El abrasivo chorro originalmente se realizan procesos para cortarmateriales con agua que contiene granos abrasivos en una alta presión de agua. También se han aplicado los chorros de agua abrasivos para fresado taladrado y pulido y. Muchos estudios han examinado el...
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