Design a Power System DC Generating Arc Cathode Pulsed in Vacuum

 
 
 
 
 
 

Diseño  de  una  Fuente  de  Potencia  CC  Generadora  de  Arcos 
Catódicos Pulsados en Vacío. 
Design  a Power System DC Generating Arc Cathode Pulsed in 
Vacuum D.F. Devia, A.F. Echeverry, P. Arango. 
1 ​
Universidad Tecnológica de Pereira. Autor 1 
2 ​
Universidad Nacional de Colombia. Autor 2 
3 ​
Universidad Nacional de Colombia. Autor 3 
 
 
 
E­mail: dfdevia@utp.edu.co 
 Resumen.  ​
Se  presenta  un  diseño  de  un sistema de  potencia  utilizado  en  el  procesamiento  de  
materiales  mediante  la  técnica  de   deposicion  física  vapor  (PVD).  La  generacion  de  arcos 
catódicos  en  vacío  se  hace  posible  por   la  sincronizacion  en  la  activación  de  un  convertidor 
trifasico  CA/CC  y  una   fuente  trigger.  El   control  del  convertidor  se  hace  mediante  una 
modulación  de   ancho  de  pulso  (PWM)   y  el  disparo  del  trigger  se  controla  mediante  un 
transistor  conectado  en  serie  al  devanado  del  primario  de  un autotransformador  elevador.  Se 
presentan  los  calculos  matematicos  para   el  dimensionamiento  de  los  principales  dispositivos 
implementados,  y  los  oscilogramas  de  tensión  y  corriente  en  el momento  que  se  produce  la 
descarga eléctrica a baja presión. 

Abstract.  ​
A   design  of  a  power  system  used  in  processing   materials  by  physical  vapour 
deposition   (PVD)  is presented.  The  generation  of  vacuum  arc  cathode  is  possible  by  the  
synchronization  in  the  activation  of  a  three­phase  converter  AC  /  DC  and  a  trigger   source. 
Control of  converter is  done  through a pulse width modulation  (PWM) and the firing trigger is 
controlled  by  a  transistor  connected  in  series  with  the   primary  winding  of   an  elevator 
autotransformer. The  mathematical  calculations  for  sizing  the  main  deployed  devices,  and 
voltage and current waveforms when the discharge occurs at low pressure are presented. 

Tercer  Encuentro  ...