MEMS: Sistemas microelectromecánicos

Sistemas
microelectromecánicos
3/6/2015

Circuitos Eléctricos II

Diego Aguilar
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Tabla de contenidos
Introducción .................................................................................................................................. 2
Sistemas electromecánicos ............................................................................................................ 3Clasificación de los MEMS .......................................................................................................... 4
Historia ...................................................................................................................................... 4
Aplicaciones............................................................................................................................... 5
Sensor de bolsas de aire ......................................................................................................... 5
Inyección de tinta ................................................................................................................... 6
Nuevos sistemas.................................................................................................................... 7
Pantallas de alta resolución ................................................................................................ 7
BioMEMS ........................................................................................................................... 8
Fabricación deMEMS..................................................................................................................... 9
Micromaquinado de material (bulk micromachining) ............................................................... 12
Micromaquinado de superficie (surface micromachining) ........................................................ 13
Micromaquinado de alta definición (high-aspect-ratio micromachining) .................................. 14
Empaquetamiento................................................................................................................... 15
MEMS hoy en día ......................................................................................................................... 16
Sensores y actuadores.............................................................................................................. 16
Transductores mecánicos..................................................................................................... 16
Sensores mecánicos ......................................................................................................... 16
Actuadores mecánicos...................................................................................................... 17
El futuro de los MEMS.............................................................................................................. 17
Retos en la industria ............................................................................................................. 17
IEEE ...................................................................................................................................... 18

Aguilar | 1

Sistemasmicroelectromecánicos
Introducción
Desde que el hombre comenzó a inventar máquinas para facilitarse la vida, ha buscado que
éstas sean cada vez más pequeñas, portátiles y manejables. Por ejemplo, grandes líneas de
producción en las que se necesitaban de muchas máquinas para realizar pequeñas tareas han sido
reemplazadas por cantidades mínimas de equipo lo cual economiza no solo espacio sino que
tambiéntiempo de producción. Vemos cómo en los automóviles se introducen cada vez más
funciones y capacidades en la misma cantidad de espacio sin sacrificar velocidad, peso o
rendimiento. Finalmente, en el mundo de la computación, por ejemplo; vemos cómo se diseñan
procesadores cada vez más pequeños con capacidades exponencialmente mayores los últimos 15
años.
Hablando de procesadores, hoy en día es...