Microscopia Electronica
3. Microscopía electrónica
1. Introducción
I. Utilizan un haz de electrones: -> elevada resolución.
(Klein y Hurlbut, 1996)
II. Interacción electrones-materiahttp://www.unl.edu/CMRAcfem/em.htm
2. Fundamentos de los microscopios electrónicos:
III. Partes esenciales del microscopio electrónico
a. Fuente de electrones:
http://www.unl.edu/CMRAcfem/em.htmb. Lentes magnéticas
c. Detector
III. Partes esenciales del microscopio electrónico
IV. Tipos de microscopios electrónicos
1. Microscopio electrónico de barrido (scanning microscope, SEM)2. Microscopio electrónico de transmisión (transmission microscope,
TEM)
http://www.unl.edu/CMRAcfem/em.htm
3. Microscopio electrónico de transmisión de alta resolución (HRTEM)
3.Microscopio electrónico de barrido (SEM)
a. Partes del microscopio
b. Los electrones secundarios
Son los electrones expulsados durante la dispersión
inelástica de los electrones incidentes:
Suenergía es baja (< 50 eV).
Se originan por interacción entre los electrones
incidentes y electrones de la muestra muy poco ligados.
El coeficiente de electrones secundarios (δ) es
independiente delnúmero atómico (Z).
δ = nSE / ni = ISE / Ii
b. Los electrones secundarios
El coeficiente de electrones secundarios (δ) depende de:
Energía del haz incidente
Inclinación de la muestra
Permiteobtener imágenes “topográficas” de la muestra
b. Los electrones secundarios: Ejemplos
b. Los electrones secundarios: Ejemplos
b. Los electrones secundarios: Ejemplos
b. Los electronessecundarios: Ejemplos
c. Los electrones retrodispersados
Se generan debido a la expulsión elástica de los electrones del haz
incidente al interaccionar con la muestra.
Experimentan un cambio dedirección de más de 90º.
El coeficiente de electrones retrodispersados (η) si depende del
número atómico (Z).
η = nBSE / ni = IBSE / Ii
c. Los electrones retrodispersados
El coeficiente...
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