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PROTOCOLO DEL TRABAJO DE INVESTIGACIÓN.
Título:
DEPÓSITO Y CARACTERIZACIÓN DE PELICULAS DELGADAS DE ÓXIDO DE COBRE-CROMO DOPADO CON CALCIO.
Asesores:
Dr. Rafael Martínez Martínez (Universidad Tecnológica de la Mixteca)

Dr. Miguel Ángel Aguilar Frutis (Centro de Investigación en Ciencia Aplicada y Tecnología Avanzada del Instituto Politécnico Nacional, Unidad Legaría, México, D.F.)e-mail: mafrutis@yahoo.es y maguilarf@ipn.mx
Tel. 5729 6000, ext. 67755
Cel. 04455 2136 9614

1. INTRODUCCIÓN.

El avance tecnológico con frecuencia demanda el desarrollo de nuevos materiales, para distintas aplicaciones con el propósito de promover un bienestar al hombre. Actualmente, las películas delgadas tienen una intensa aplicación en la industria microelectrónica (Barquinha, et al.,2012). (aquí falta enlazar)
El Óxido de Indio dopado con Estaño (ITO) es el Óxido Conductor Transparente (TCO) más utilizado en la industria microelectrónica. Ginley (2010) refiere que el alto uso de los TCO’s han provocado que el Indio (In) se escasee en la naturaleza, por lo que encarece el proceso de obtención del TCO. En el 2010 la demanda proyectada del TCO fue de 100x106 m2 en Europa,mientras que para China un país con un crecimiento sobresaliente en tecnología, se pronosticó una demanda de 97x106 m2, y un pronóstico de producción de 50x106 m2 del (ITO), cabe destacar que en 2005 el ITO produjo ventas por 65 billones de dólares y se estima que para el 2012 deje ganancias de 125.32 billones de dólares, solo en pantallas de plasma. Con base en lo anterior se buscan sustitutos almismo con las mismas características o incluso mejores, con un proceso de obtención más económico. Entre los posibles sustitutos se encuentran los siguientes: el óxido de cadmio dopado con itrio (CdO:Y), óxido de zinc dopado con molibdeno (ZnO:Mo), óxido de cobre-cromo dopado con calcio (CuCrO2:Ca), mezcla de óxidos de cadmio y zinc (CdO-ZnO), y óxido de cobre-aluminio (CuAlO2) (Aguilar, 2008).Para este trabajo se tomó el óxido de Cobre-Cromo dopado con Calcio (CuCrO2:Ca) para su caracterización estructural, óptica y estructural, mediante las siguientes técnicas: Caracterización estructural, Difracción de rayos X, Espectroscopia de Ultravioleta-Visible, Elipsometría, Microscopia de Barrido y Efecto Hall.
La generación de películas se hace por la técnica de Rocío Pirolítico Ultrasónico(RPU), que pertenece a la técnica de Depósito de Vapor Químico (CVD), esta técnica es simple y de costo bajo, dicha técnica es aplicada para la obtención de muchas películas de óxidos comerciales (Chopra L., et al., 1983). Esta técnica está basada en la generación de spray de una solución y el transporte del mismo a un sustrato caliente, en la cual influyen factores para determinar la calidad dela película (LANGLET & JOUBERT, 2002), el grosor de película es de unos 2000 Å en un tiempo de alrededor de 5 minutos, para esta solución de cromo-cobre y agua des-ionizada esto con el fin de darle mejores propiedades ópticas. Para mejorar las propiedades eléctricas se utilizará el Ca como dopante basándose en que es un elemento de la misma familia del Magnesio (Mg). Lo anterior se fundamentadebido a que existen trabajos publicados con este material en una solución de cobre-cromo. El cobre-cromo dopado con magnesio (CuCrO2:Mg) presenta características buenas para un TCO. Eléctricamente de tiene 0.3Ω·cm a una temperatura de 500 °C, con una planos cristalográficos (006), (001), (012) y (110), cabe destacar que estos depósitos se hicieron bajo la técnica de depósito laser in situ con unapresión debajo de 0.27 Pa de O2 durante 40 min (Te-Wei, et al., 2007). Más resultados sobre el estudio de CuCrO2:Mg presentan una estructura cristalina con propiedades eléctricas varían entre ~10-2 y 104 Ω cm, entre 550 °C y 700°C, las propiedades ópticas muestran un rango de la banda prohibida de entre 3.19 eV hasta 3.02 eV para el 5% de Mg, con una transmisión óptica por arriba de 40% en la...