Pelicilas delgadas

Cuando se desean realizar guías de onda ópticas a partir de películas delgadas, los parámetros fundamentales a conocer son el índice de refracción y el espesor de la película. E sabido que unapequeña variación del índice de refracción o del espesor de los medios que constituyen la guía de onda puede ifluenciar de manera importante las propiedades ópticas, es por esto que es necesario medir conprecisión estos parámetros.
Diferentes técnicas de medición permiten determinar estas magnitudes en las películas delgadas. L a elipsometría permite medir espesores de algunas capas atómicas hasta 100nm, se necesitan muestras planas y las superficies analizadas son de algunos milímetros cuadrados. La elipsometría es método de medición indirecta. Necesita utilizar un modelo para describir larespuesta de la muestra. La eficiencia del método está condicionada por la utilización del modela de película delgada adecuada.
Técnicas basadas en mediciones de transmisión o reflexión sobre las películasdelgadas permiten igualmente obtener los índices de refracción y el espesor. Estas técnicas están más adaptadas a películas más espesas que en elipsometría, sin embargo deben se acopladas a otroaparato que proporcione el espesor físico de las películas para dar medidas de índices precisos.
La espectroscopía M-lines se basa en la excitación selectiva de modos guiados en una película delgada porun campo evanescente. Este método está bien adaptado cuando se desea estudiar películas para aplicaciones de tipo óptica guiada ya que aparte de la determinación del índice de refracción y del espesorcon relativa gran precisión, permite un estudio modal de la estructura conductora.
A continuación se abordará sucesivamente el principio de la espectroscopía M-lines, la elección de la lente defocalización, la realización del dispositivo mecánico de acoplamiento, la elección del prisma, la adquisición de la señal luminosa y la automatización del dispositivo de medición y los diferentes de...